Багатофункціональна кластерна система для реактивного іонно-плазмового синтезу складнокомпозиційних сполук
Кластерна функціональна установка призначена для синтезу та дослідження властивостей наноструктурованих функціональних плівок і наноструктурованих елементів. На установці були відпрацьовані технології синтезу одно- і багатошарових покриттів оксидів і оксинітридів групи перехідних металів типу TiN, TiAlN, TiO, Al2O3, Та2О5, TiN/Al2O3, TiN/TiO та ін. Наноструктуровані плівки та покриття призначені для потреб машино-, приладобудування, ядерної енергетики та біомедицини. Установка може використовуватись підприємствами машинобудування, приладобудування та електронної промисловості – як технологічне обладнання. Може бути затребувана науково‐дослідними установами як дослідне експериментальне обладнання
Детальніше...