Багатофункціональна кластерна система для реактивного іонно-плазмового синтезу складнокомпозиційних сполук
Кластерна функціональна установка призначена для синтезу та дослідження властивостей наноструктурованих функціональних плівок і наноструктурованих елементів. На установці були відпрацьовані технології синтезу одно- і багатошарових покриттів оксидів і оксинітридів групи перехідних металів типу TiN, TiAlN, TiO, Al2O3, Та2О5, TiN/Al2O3, TiN/TiO та ін. Наноструктуровані плівки та покриття призначені для потреб машино-, приладобудування, ядерної енергетики та біомедицини. Установка може використовуватись підприємствами машинобудування, приладобудування та електронної промисловості – як технологічне обладнання. Може бути затребувана науково‐дослідними установами як дослідне експериментальне обладнання
ОПИС:
Кластерна установка реактивного іонно-плазмового синтезу складнокомпозиційних, зміцнювальних і корозійностійких покриттів містить два магнетрони низького тиску з діаметром мішені 170 мм, джерело іонів з енергією 2–5 кеВ типу «Радикал-М» з діаметром пучка 100 мм, який монтується на фланцях робочої камери, та високочастотне індукційне джерело хімічно активних частинок і плазми з енергією іонів 30–50 еВ і щільністю струму до 5 мА/см2
Дата розміщення:
2022-01-12
Дата останнього оновлення:
2022-01-12
Тематичний напрям / Сфера застосування:
Матеріали, Нано- і мікротехнології
