ОПИС:
Для створення потужного джерела екстремального ультрафіолету для нанолітографії перспективним є застосування сильнострумових електричних розрядів у парах олова. В роботі досліджуються динаміка та направленість випромінювання в діапазоні довжини хвиль 12,2–15,8 нм із прианодної плазми сильнострумового імпульсного плазмового діода. Струм між покритими оловом електродами збуджувався розрядом конденсаторної батареї ємністю 0,5–2,0 мкФ за тиску 2·10-6 Тор. (Довжина розрядного проміжку – 5 см, діаметр катода – 1 см, анода – 0,25 см, розрядна напруга – 4–15 кВ, амплітуда струму – 5–50 кА, щільність струму на анод – до 5,0 МА/см2 , період коливань струму – 2–4 мкс.) Використовувалось попереднє заповнення розрядного проміжку первинною плазмою за рахунок поверхневого пробою на катоді. Випромінювання реєструвалось одночасно вздовж і впоперек розряду: в широкому діапазоні – за допомогою колекторів, у діапазоні довжин хвиль 12,2–15,8 нм (виділений діапазон) – за допомогою датчиків типу AXUV-20

Дата розміщення:  2021-12-30
Дата останнього оновлення: 2021-12-30

Тематичний напрям / Сфера застосування: Матеріали