Компактний пристрій іонно‐плазмової обробки мікро‐ і наноструктур «Титан‐2»
Компактний реактор іонно‐плазмової обробки мікро‐ і наноструктур «Титан‐2» призначений для реактивної плазмової обробки мікро‐ наноструктур у технологіях мікроелектроніки, для осадження тонких плівок, а також для проведення фундаментальних наукових досліджень у галузі фізики газового розряду. Результати роботи можуть бути реалізовані в наукових організаціях фізичного і технічного профілю та безпосередньо на підприємствах, що виготовляють сучасну наукоємну продукцію
ОПИС:
Пристрій «Титан‐2» є малогабаритною малоенергоємною настільною установкою з високочастотним діодним реактором із розподіленим напуском і відкачуванням газу для процесів плазмохімічного травлення з високою однорідністю. Пристрій «Титан‐2» забезпечує генерацію потоків заряджених частинок і хімічно активних радикалів на оброблювану поверхню діаметром 100 мм з неоднорідністю менше 2 % і можливістю керування енергією іонів у діапазоні 20–500 еВ. З використанням реактора «Титан‐2» була досягнута швидкість травлення кремнію близько 3 мкм/хв
Дата розміщення:
2022-01-14
Дата останнього оновлення:
2022-01-14
Тематичний напрям / Сфера застосування:
Нано- і мікротехнології
